Ngành công nghiệp bán dẫn, là nền tảng cốt lõi của công nghệ thông tin điện tử hiện đại, đang chứng kiến sự lặp lại liên tục và nâng cấp các công nghệ thiết bị của nó, được thúc đẩy bởi sự phát triển nhanh chóng của các lĩnh vực như truyền thông 5G, trí tuệ nhân tạo và các phương tiện năng lượng mới {{1} Nhu cầu gần ngoại trừ đối với khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn và khả năng chống sốc nhiệt của các thành phần lõi của chúng .
Đối mặt với giới hạn hiệu suất vật liệu trong sản xuất chất bán dẫn, các vật liệu gốm tiên tiến đang đạt được tầm quan trọng chiến lược . Một ví dụ điển hình là các thành phần than chì quan trọng được sử dụng trong các quá trình như sự lắng đọng của chất nền và độ khuếch đại của các vật liệu có ý nghĩa. Khí, chúng dễ bị ăn mòn bề mặt và rụng hạt . Điều này không chỉ làm giảm đáng kể tuổi thọ thành phần mà còn gây ô nhiễm các bề mặt wafer với các hạt than chì, tác động nghiêm trọng đến năng suất sản xuất .
Để giải quyết các vấn đề này, cacbua silicon (SIC) đã nổi lên như một vật liệu lớp phủ đột phá cho các thành phần than chì . với độ ổn định nhiệt đặc biệt của nó, độ dẫn nhiệt cao, điện trở oxy hóa, khả năng phân phối nhiệt độ Tính đồng nhất . Giải pháp sáng tạo này vượt qua các rào cản kỹ thuật lâu dài trong sản xuất chất bán dẫn, mở đường cho hiệu quả và độ tin cậy cao hơn trong các quy trình nâng cao .}
Thời gian gốm sứ vượt trội
Ngành công nghiệp lớp phủ silicon cacbua (SIC) phải đối mặt với các rào cản nhập cảnh đặc biệt cao, chủ yếu được thể hiện trong ba khía cạnh chính: công nghệ sản xuất độc quyền, chu kỳ phát triển và chứng nhận kéo dài, và những khó khăn khắc nghiệt trong các chuỗi cung cấp được phát triển. Công nghiệp .