Các mucks gốm ALN vượt trội trong môi trường hiệu suất cao đòi hỏi sự ổn định nhiệt, độ chính xác và kháng hóa học.
Các ứng dụng chính bao gồm:
Sản xuất bán dẫn
KIỂM TRA EUV: Đảm bảo độ chính xác lớp phủ phụ Nanomet với độ trôi nhiệt tối thiểu.
Các công cụ khắc\/lắng đọng: chống xói mòn huyết tương trong các bản khắc ion phản ứng (RIE) và buồng CVD.
Ủ wafer: Duy trì hệ thống sưởi đồng đều (± 0. 5 độ) ở 800 thép1000 độ để chế tạo nút nâng cao.
Điện tử điện
Epitaxy SIC\/GAN: Chịu đựng 1100 độ trong các lò phản ứng MOCVD để sản xuất thiết bị hiệu quả cao.
Đập laser: Cung cấp kẹp ổn định cho các tấm wafer siêu mỏng (<50μm) without cracking.
Bao bì nâng cao
Liên kết IC 3D: Ngăn chặn Warpage trong quá trình liên kết tăng nhiệt của chiplets.
Bao bì cấp độ wafer của người hâm mộ (FowlP): Cho phép căn chỉnh chính xác cho tích hợp không đồng nhất.
Nghiên cứu & Công nghiệp
Điện toán lượng tử: Cung cấp độ ổn định về nhiệt độ lạnh đến cao để thử nghiệm Qubit.
Sản xuất LED: Hỗ trợ quản lý nhiệt thống nhất trong chuyển mini\/microled.
ALN Chucks không thể thiếu đối với các quy trình yêu cầu<0.1μm flatness, zero contamination, and long-term reliability, directly boosting yield in cutting-edge tech.
Nếu bạn cần một mâm cặp bằng gốm nhôm chất lượng cao, vui lòng liên hệ với thời gian gốm sứ Superior để biết thêm câu hỏi.
