Mô tả sản phẩm

Mâm cặp cacbua silic bằng gốm là thành phần chức năng tiên tiến được sản xuất từ vật liệu gốm cacbua silic có độ tinh khiết cao.

Chúng được thiết kế đặc biệt để cố định, hỗ trợ và dẫn nhiệt chính xác trong môi trường xử lý khắc nghiệt và chân không cực cao. Là vật tư tiêu hao cốt lõi cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn-chẳng hạn như máy in thạch bản, máy khắc axit và hệ thống CVD/PVD-hiệu suất của chúng quyết định trực tiếp đến độ chính xác trong sản xuất chip, tỷ lệ năng suất và hiệu quả sản xuất.

product-850-686

Hiệu suất sản phẩm

Độ cứng và khả năng chống mài mòn vượt trội: Với độ cứng Mohs vượt quá 9,2, cacbua silic là một trong những vật liệu gốm kỹ thuật cứng nhất, chỉ đứng sau kim cương. Điều này làm cho các sản phẩm cacbua silic như ống lót cacbua silic, vòng bi cacbua silic và phốt cơ khí cacbua silic có khả năng chống mài mòn cao và lý tưởng cho các ứng dụng gốm sứ chịu mài mòn.
Độ ổn định nhiệt và hóa học vượt trội: Nó có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp và có thể hoạt động ở nhiệt độ lên tới 1650 độ trong môi trường khí trơ. Đặc tính chịu lửa này, kết hợp với khả năng chống sốc nhiệt và ăn mòn tuyệt vời từ axit và kiềm, khiến nó trở nên hoàn hảo cho các bộ phận làm nóng cacbua silic, ống bảo vệ cacbua silic và các bộ phận trong quy trình CMP và ICP.
Độ dẫn nhiệt và khả năng điều chỉnh điện tuyệt vời: Độ dẫn nhiệt cao (thường vượt trội so với đồng ở nhiệt độ cao) khiến các tấm cacbua silic trở thành chất nền quản lý nhiệt lý tưởng. Điện trở suất của nó có thể được thiết kế chính xác, cho phép sử dụng nó trong mâm cặp tĩnh điện (ESC) và làm vật liệu bán dẫn có dải thông rộng cho điện tử công suất.
Độ bền cao và nhẹ: SiC thiêu kết mang lại độ bền cơ học và độ cứng cao ở mật độ tương đối thấp, góp phần nâng cao độ bền và độ chính xác của các bộ phận như con lăn và cánh khuấy bằng cacbua silic.
Tính linh hoạt trong sản xuất: Gốm cacbua silic có thể được tạo thành các hình dạng phức tạp thông qua quá trình thiêu kết, liên kết phản ứng hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD). Quá trình xử lý hậu kỳ như lớp phủ cacbua silic (ví dụ: lớp phủ CVD SiC) có thể nâng cao hơn nữa các đặc tính bề mặt cho các ứng dụng cụ thể.

20250919092439852

Ứng dụng sản phẩm

Sản xuất chất bán dẫn: Cần thiết cho việc xử lý và xử lý wafer. Các sản phẩm chính bao gồm ESC để khắc axit (ICP) và lắng đọng (PVD, CVD), chất mang cacbua silic cho CMP và các bộ xử lý như thuyền cacbua silic, mái chèo cacbua silic và ống lò nung cacbua silic. Cấp độ tinh khiết-cao là rất quan trọng để ngăn ngừa ô nhiễm.

Công nghiệp & Luyện kim: Được sử dụng làm đồ nội thất trong lò nung (con lăn, dầm), các bộ phận trong máy bơm và van (phớt, ống lót), lớp lót cho lốc xoáy và nồi nấu kim loại để nấu chảy kim loại. Vật liệu chịu lửa cacbua silic được sử dụng trong lò nung có nhiệt độ-cao.
Năng lượng & Môi trường: Các thành phần trong bộ trao đổi nhiệt (ống trao đổi nhiệt cacbua silic), vòng đệm cho máy bơm trong môi trường khắc nghiệt và chất nền cho mục tiêu phún xạ.
Hàng không vũ trụ & Quốc phòng: Được sử dụng trong vật liệu tổng hợp ma trận gốm (CMC), áo giáp và các bộ phận dành cho môi trường-nhiệt độ cao, áp lực cao-do khả năng chịu nhiệt độ cực cao.
Điện tử: Là chất nền cho GaN trên SiC trong các thiết bị RF và là vật liệu cơ bản cho chính chất bán dẫn điện cacbua silic.
Ô tô: Các bộ phận trong hệ thống phanh và máy bơm nước, đồng thời là vật liệu cốt lõi cho thiết bị điện tử công suất của xe điện.
Sản xuất phụ gia: Việc sử dụng ngày càng tăng trong sản xuất phụ gia gốm để sản xuất các bộ phận cacbua silic phức tạp.

Sự biện minh cho việc lựa chọn

Chọn mâm cặp chân không bằng gốm cacbua silic của chúng tôi có nghĩa là bạn đang chọn,

Năng suất cao hơn: Giảm lỗi quy trình nhờ tính đồng nhất và ổn định nhiệt đặc biệt.
CoO thấp hơn: Giảm đáng kể chi phí trên mỗi tấm bán dẫn nhờ kéo dài tuổi thọ sử dụng và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động để bảo trì.
Khả năng xử lý nâng cao: Công ty chúng tôi nắm giữ hơn 30 bằng sáng chế của Trung Quốc. Chúng tôi nắm vững các quy trình kỹ thuật tiên tiến, bao gồm thiêu kết, tạo hình, mài, gia công CNC, khoan laser, mài và đánh bóng.
Quan hệ đối tác đáng tin cậy: Chúng tôi cung cấp các dịch vụ từ đầu đến cuối từ thiết kế và sản xuất đến thử nghiệm cũng như hỗ trợ sau bán hàng.

Our Certificates

Our Exhibitions

Sức mạnh nhà máy

Hội thảo kỹ thuật số, nhà máy thông minh và hệ thống thu thập dữ liệu theo thời gian thực-của chúng tôi tận dụng các nguyên tắc sản xuất tinh gọn để giảm thiểu lãng phí và tối đa hóa hiệu quả sử dụng tài nguyên.

Bằng cách tích hợp công nghệ gia công CNC, IoT công nghiệp và hệ thống điều khiển tự động, chúng tôi đạt được kết nối liền mạch và hoạt động hợp tác giữa các thiết bị sản xuất, từ đó tiết kiệm tối đa trong sản xuất.

Our Workshops And Offices