Đĩa mang cacbua silic

Mô tả Sản phẩm Trong sản xuất chất bán dẫn, chất nhạy cảm cacbua silic (SiC) (còn gọi là chất mang bán dẫn, đế hoặc khay) cho thiết bị CVD là vật tư tiêu hao cốt lõi quan trọng. Tầm quan trọng của nó bắt nguồn từ các đặc tính độc đáo của cacbua silic, khiến nó trở thành cacbua silic lý tưởng...

Mô tả sản phẩm

Tấm mang gốm cacbua silic được sản xuất từ nguyên liệu thô cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao thông qua các quá trình như thiêu kết phản ứng (cacbua silic liên kết phản ứng), thiêu kết không áp suất (cacbua silic thiêu kết) hoặc kết tinh lại (cacbua silic kết tinh lại/SiC kết tinh lại). Bản thân vật liệu SiC có liên kết cộng hóa trị mạnh và cấu trúc ổn định, mang lại cho các tấm mang những đặc tính vật lý và hóa học đặc biệt (tính chất cacbua silic). Chúng thường được sử dụng để thay thế các vật liệu truyền thống như thạch anh và alumina, đặc biệt trong các lĩnh vực đòi hỏi tiêu chuẩn cực kỳ cao về độ sạch, khả năng chịu nhiệt độ và khả năng chống sốc nhiệt.

Silicon carbide carrier disc for CVD equipment.

Các đặc tính và thông số hiệu suất chính

Khả năng chịu nhiệt độ-cao: Có khả năng hoạt động ổn định lâu dài-trong môi trường trên 1600 độ, với khả năng chịu đựng-ngắn hạn đạt 1650 độ trở lên. Thích hợp cho các tình huống ứng dụng gốm sứ nhiệt độ cực cao (gốm nhiệt độ cực cao).
Độ dẫn nhiệt tuyệt vời: Độ dẫn nhiệt cao của cacbua silic tạo điều kiện truyền nhiệt nhanh chóng và đồng đều, giảm độ dốc nhiệt độ trong quá trình xử lý.
Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn: Với độ cứng Mohs gần 9,5, đây là loại gốm-chống mài mòn tuyệt vời, chống mài mòn và nhiễm bẩn hạt.
Khả năng chống sốc nhiệt mạnh: Do hệ số giãn nở nhiệt thấp nên nó có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ mạnh mà không bị nứt.
Tính trơ hóa học: Chống ăn mòn axit và kiềm, và không phản ứng với hầu hết các loại khí hoặc vật liệu xử lý. Thành phần hóa học của cacbua silic ổn định.
Độ sạch cao: Vật liệu có cấu trúc dày đặc, chẳng hạn như SiC thiêu kết, với bề mặt nhẵn giúp giảm thiểu sự hấp phụ tạp chất, giúp vật liệu này phù hợp với môi trường quy trình có độ tinh khiết cao.

ceramicstimes performance parameter

Ứng dụng chính và các sản phẩm liên quan

Công nghiệp bán dẫn: Được sử dụng để vận chuyển các tấm silicon trong các quá trình-nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa, ủ và CVD. Cũng được sử dụng làm chất nền SiC cho epit Wafer silicon.
Công nghiệp quang điện: Đóng vai trò là chất nền mang trong quá trình thiêu kết và phủ pin mặt trời.
Sản xuất đèn LED: Được sử dụng trong lò phản ứng MOCVD để mang chất nền sapphire.
Quá trình thiêu kết gốm chính xác: Hoạt động như một bệ lò hoặc lò nung để nung-ở nhiệt độ cao của gốm điện tử, gốm kết cấu và vật liệu tổng hợp ma trận gốm.
Linh kiện công nghiệp: Được sử dụng rộng rãi trong sản xuất vòng đệm cơ khí, vòng bi, vòi phun, ống lót/ống lót, ống bảo vệ/ống cặp nhiệt điện và các thành phần SiC khác.
Vật liệu chịu lửa: Phục vụ như một vật liệu chịu lửa tiên tiến, được sử dụng để lót lò.
Nghiên cứu và thử nghiệm khoa học: Hoạt động như một thiết bị hỗ trợ mẫu trong lò-nhiệt độ cao và thử nghiệm vật liệu.